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【招标】原子层刻蚀设备(ALE)公开招标公告
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zycgr22011903原子层刻蚀设备(ALE)公开招标公告 |
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所属地区：上海 |
来源：招投标采购网 |
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发布日期：2025-11-04 09:26:22 |
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项目概况
原子层刻蚀设备(ALE) 招标项目的潜在投标人应在网上获取招标文件，并于2025年11月26日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：/
项目名称：原子层刻蚀设备(ALE)
预算金额：300.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：300.000000 万元（人民币）
采购需求：
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采购需求一览表：
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包件号 |
包件名称 |
标的名称 |
数量 |
预算 |
交货期 |
交货地点 |
简要技术要求/项目基本概况/用途： |
是否允许进口产品投标 |
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1 |
原子层刻蚀设备(ALE) |
原子层刻蚀设备(ALE) |
1台 |
300 |
合同签订后6个月内具备发货条件，在收到采购人发货通知后2个月内送达采购人指定地点。 |
采购人指定地点 |
采购1台原子层刻蚀设备(ALE)，ALE是实现纳米级超高精度、高选择比及低损伤刻蚀工艺的革命性先进装备，其核心优势在于采用自限制性表面化学反应机制，通过周期性暴露前驱体与反应气体实现单原子层级别的材料去除，彻底避免传统等离子刻蚀的离子轰击损伤与各向异性失控问题。设备具备亚埃级刻蚀精度与近乎无限的选择比，可应对极高深宽比结构及敏感材料的加工需求；腔室配备多路气体注入系统与等离子体源，工艺参数可独立精确调控以适配金属、介质层及复合材料的刻蚀要求。该设备是实现器件关键结构原子级制造与性能优化的核心装备。 |
否 |
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是否专门面向中小企业或小型、微型企业采购：否。
合同履行期限：自合同签订之日起至质量保证期结束。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求：（1）本项目开标日前被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目的投标，[以“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）采购代理机构评标当日的查询记录为准]；（2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目的投标；（3）投标人必须通过下述第三条“获取招标文件”中规定的渠道获取了招标文件；（4）本项目不接受联合体投标。
三、获取招标文件
时间：2025年11月04日 至 2025年11月11日，每天上午8:30至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：网上。
方式：网上获取。
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2025年11月26日 09点30分（北京时间）
开标时间：2025年11月26日 09点30分（北京时间）
自本公告发布之日起5个工作日。
有意参加并符合条件的投标人于投标报名截止时间之前需先登录招投标采购网【 http://www.chinazbcgou.com.cn/ 】电子平台进行注册 、完善基本信息后提交审核。
联系人：张工 夏工
电话： 010-8767-7958 010-67227261
13269123260 13641395102
18201588438 15811135023
（以上微信同号）