【招标】南京大学自研低维薄膜材料等离子体增强原子层刻蚀设备公开招标公告

南京大学自研低维薄膜材料等离子体增强原子层刻蚀设备 招标项目的潜在投标人应在网上报名获取招标文件，并于2025年11月26日 16点00分（北京时间）前递交投标文件。 

一、项目基本情况

项目编号：GZH250364（SNZX-202515）

项目名称：南京大学自研低维薄膜材料等离子体增强原子层刻蚀设备

预算金额：237.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：237.000000 万元（人民币）

采购需求：

本次采购1套自研低维薄膜材料等离子体增强原子层刻蚀设备，设备内含低损伤刻蚀模式和电感耦合等离子体刻蚀模式，用于半导体或其它材料表面刻蚀处理。在原子层刻蚀模式时，能够对氮化镓，氮化硅，氧化铪等材料实现低损伤刻蚀；在电感耦合等离子模式时，能够对硅基和氮化镓等化合物半导体材料实现高精度刻蚀，具体详见招标文件。

本项目采购标的所属行业为：工业。

合同履行期限：合同签订后6个月内。

本项目( 不接受   )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

3.本项目的特定资格要求：无。

三、获取招标文件

时间：2025年11月06日         至 2025年11月12日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：网上报名获取招标文件

方式：网上报名获取招标文件。 招标文件售价：人民币500元/套，售后不退。 售价：￥500.0  元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点        

提交投标文件截止时间：2025年11月26日 16点00分（北京时间）

开标时间：2025年11月26日 16点00分（北京时间）

地点：详见招标文件

五、本项目不接受联合体投标，不接受转包、分包。

六、联系方式

本次招标公告在招投标采购网【www.chinazbcgou.com.cn】媒介上进行发布。有意参加并符合条件的投标人，需先登录电子招标采购平台进行电子注册、经验证通过后参与招标活动。

联系人： 叶文文      张工    
电话：132-6912-3260    010-87677958  

微信：13641395102